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工业制氧设备的原理是利用空气分离技术，先将空气进行高密度压缩，然后空气中各种成分的凝点不同，使其在一定温度下与气液分离，再进一步精馏。

工业氧气通常通过这种物理方法获得。氧气发生器也被称为空气分离设备。根据产品数量，可分为800m3/h以下的小型设备；1000-6000m3/h中型设备；10000m3/h以上的大型设备，所谓800m3/h和1000-6000 m3/h，是指空分塔制氧装置每小时的产值。我国制氧设备一般由空气压缩机、预冷设备、净化设备和空分塔组成。